Специальный выпуск "Спутниковая связь и вещание"-2025

64 Эта стоимость включает весь спектр расходов на программное обеспече- ние, проектирование, подготовку производства и зависит от типа про- изводимой МИС. Стартапы и ком- пании, которые только начинают свой путь в проектировании МИС, должны бороться и за достижение более высоких уровней объемов для безубыточности, и с высокими рис- ками. Наибольшие индивидуальные затраты – это проверка и верифика- ция дизайна. Если проверка и вери- фикация не на должном уровне, компания рискует получить огром- ные задержки в выпуске продукта. Т ипы набора масок – MPW, MLM, MLR и Single-Maskset Tapeout – это важный этап в жиз- ненном цикле проектирования СВЧ МИС, который означает, что этап проектирования завершен и насту- пила стадия готовности к производ- ству на фабрике. (Термин tapeout был придуман в 70-х гг. Историче- ски инженеры использовали магнит- ную ленту для хранения всех фай- лов дизайна ASIC. Таким образом, событие переноса ленты на завод называлось tapeout.) (См. рис. 12). Перед началом производства пластин должен быть готов набор масок. У заводов есть партнеры по изготов- лению масок, оптимизированных под требования проекта. Создание на- бора масок является самой дорогой частью стоимости МИС. Как пра- вило, фабрики предоставляют три типа услуг по набору масок. M PW – многопроектная пластина MPW включают изготовление не- скольких дизайнов МИС от разных клиентов или проектов на одной кремниевой пластине. Обычно каж- дый проект использует один и тот же набор масок для определенного технологического процесса (напри- мер, 65 нм). MPW – лучший способ разделить высокие затраты на про- изводство масок, что делает про- изводство более рентабельным для мелкосерийных или прототипных целей. Результатом процесса MPW являются кристаллы, количество кристаллов варьируется в зависимо- сти от технологических процессов и разных фабрик. Типичная цена MPW составляет 90% от полной цены набора масок. M LM – многослойная маска Услуги MLM (многослойная маска) или MLR (многослойная сетка) по- могают снизить стоимость NRE (стоимость полного набора масок) на ленту. Этот метод позволяет объеди- нить до четырех масок в одну и, сле- довательно, сократить общее количе- ство масок, которые необходимо соз- дать. По мере уменьшения количе- ства масок NRE также уменьшается. Недостаток – это цена пластины. Пока цена NRE уменьшается, цена пластины увеличивается. Поэтому MLM рекомендуется для проектов, требующих низкого или среднего объема производства. S ingle-Maskset – полный набор масок Полный набор масок использует наиболее оптимизированные маски для объема производства. МИС из- готавливается с использованием на- бора фотошаблонов, разработанных специально для этого конкретного проекта. Для каждого слоя МИС требуется своя собственная маска. Изготовление с одним набором масок обычно используется для крупносерийного производства од- ного дизайна. Это дорого, но дает З ависимость стоимости пластин от партии [https://semianalysis.com/2022/07/24/the-dark- side-of-the-semiconductor/] Рис. 11 С тоимость набора масок для различных технологических процессов [https://anysilicon.com/ semiconductor-wafer-mask-costs/] Рис. 13 П роизводство СВЧ МИС [27, https://www.wevolver.com/article/tape- out-in-semiconductor-manufacturing-an-in-depth-exploration] Рис. 12